1、根据实验所需的zui高温度选择合适温度区间的加热炉
A.选择工作温度时请注意仪器所能保持的zui高温度(<1小时)和仪器能连续工作的温度(安全、连续使用的温度)
例如:米淇mitr-1700X管式炉:zui高加热温度1700℃,连续工作温度1600℃
B、仪器使用的加热元件限制了加热炉的zui大工作温度,目前我公司加热元件可分为四类:
(1)250 ~ 1250℃ 采用电阻丝加热元件,最高加热温度1200℃,长时间使用1100℃或红外灯管加热元件,采用K型热电偶测温(如果客户需要也可更换为S热偶)
(2)1300 ~ 1600℃ 采用碳化硅加热元件,采用S型热电偶测温
(3)1600 ~ 1800℃ 采用MoSi2加热元件(禁止长时间在800℃以下加热),采用B型热电偶测温
2、根据样品大小选择合适的坩埚及炉管管径,选择容积合适的加热炉。(不建议不用坩埚载料直接将样品放入炉管)
A.坩埚选择
· a.石英坩埚:≤1200℃使用石英管,热处理温度超过600℃时,请不要用氧化铝坩埚
· b.氧化铝坩埚:≤1800℃使用刚玉管,热处理温度超过900℃时,请不要用莫来石坩埚
· c.石墨坩埚:≤ 2300℃
例如:1.需要对粉末进行900℃热处理,选择石英坩埚装载样品
2.需要将合金在1600℃融化,选择氧化铝坩埚
B.管径的选择
选择好坩埚后,根据坩埚装载样品后的体积选择合适的炉管管径(一般买炉子会标配有加热炉管)
· a.石英管 ≤1200℃ (真空环境下最高1000℃)
例如:各种放样品的情况
· b.刚玉管 ≤1800℃ (刚玉管不建议真空环境下使用)
3、根据实验要求选择单温区管式加热炉和多温区管式加热炉
多温区较单温区会设有多个热电偶,n温区加热炉的恒温区比(n-1)温区的加热炉恒温区要长,部分仪器尺寸变大
4、根据功能选择加热炉
A、管式炉为基础加热系统,您可以根据不同的需求选择成套的米淇加热系统,如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2维材料生长系统等。
例如:
(1)生长石墨烯/PECVD系统,整个系统包括加热炉系统、射频电源、供气系统、真空系统、水冷系统、通风系统、氢气报警系统
(2)立式管式炉:加热管垂直放置,以悬吊样品的方式,为样品提供淬火
(3)RTP(快速热处理加热炉):可以对样品进行快速加热和快速冷却
例如:
a.OTF-1200X-4-RTP快速退火管式炉,最快50℃/s升温速度,红外灯管加热。
b.OTF-1200X-50-S 迷你型快速加热冷却炉,加热炉加热到某一温度后,滑至样品所在区域,可以提高升温速度,热处理结束,将炉体移开,使样品所在区域暴露在空气中,快速冷却。
(4)高压力/真空炉:特殊设计的镍铬合金和不锈钢炉管,对样品进行高温高压和真空处理
(5)旋转管式炉:炉管旋转式结构可以更均匀的热处理粉末,同时也可以达到粉末均匀包覆的效果
(6)特殊能力气体处理炉/氢气炉:氢气处理或其他危险气体的实验,请和销售技术人员提前说明。不建议使用普通管式炉做危险实验。
5、选择有相关认证的管式炉有实力的供应商。
6、选择合适的真空泵:
根据设备和实验需求选择规格功能不同的真空泵,本公司多种真空泵可选。
长沙米淇仪器设备有限公司成立于2007年,总部设在美丽的星城湖南长沙,2018年正式受邀落厂在长沙市国家第十三个国家湘江新区,本公司是集研发,设计、生产、销售为一体的实验室科研用设备为主的厂家。多年的技术沉淀和传承及持续的创新,为业界所熟知,更多关于实验电炉相关问题欢迎拨打我们的服务热线400-0033-384,我们期待您的来电。
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